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氮化鋁陶瓷具有卓越的熱傳導性與抗熱震性,也有良好的絕緣性。因液相燒結且晶界無第二相,晶體結構非常致密具有良好的抗等離子體腐蝕能力。被廣泛的用作基板與半導體制造設備的零配件。
氮化鋁陶瓷
氮化鋁材料物性
氮化鋁
顏色
灰色
主要成分含量
96%氮化鋁96%AIN
主要特征
主要用途
密度
g/cc
3.3
吸水性
%
0
機械特性
維氏硬度
GPa
9.5
抗彎強度
MPa
350
抗壓強度
2500
楊氏模量
GPA
320
泊松比
-
0.24
斷裂韌性
MPA·m1/2
熱學特性
線性膨脹系數
40-400℃
x10-6/℃
4
熱傳導率
20°
W/(m·k)
170
比熱
J/(kg·k)x103
0.74
電學特性
體積電阻率
20℃
Ω·cm
>1014
介電強度
KV/mm
>15
介電常數
介電損耗系數
x10-4
8.8
化學特性
硝酸
90℃
重量損失
硫酸
95℃
氫氧化鈉
80℃